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製品情報

 

環境機器

通水型溶存オゾン分解装置

ULVITは通水型溶存オゾン分解装置で、高出力紫外線ランプを使用し、流体中の溶存オゾンを瞬時に分解します。活性炭方式、バブリング方式に比べて省スペース化が可能です。

窒素置換式脱酸素装置

窒素の力で防錆防腐処理。新技術・脱酸素水を高効率で生み出す「エミック」を搭載。

人体に影響を及ぼす薬剤や赤水の心配がなく、長期にわたって安定した効果が得られます。

私たちが提案するのは流量計だけではありません。

東フロコーポレーションは、逸早く企業の文化的理念の展開を遂行してまいりました。私たちは、その文化理念の反映を数々の製品のなかからユーザーの皆様にご紹介できる好機に深謝いたします。
東フロコーポレーションはいま、文化と技術と自然の響合の中で製品開発を進めております。技術的文化理念を展開するなかで完成した製品の数々は、流量制御用デバイスとして、また半導体製造プロセス用デバイスとして半導体製造装置からデバイスメーカーまでその用途において多様な位置づけが可能となっております。 地球温暖化が進行し、生態系の異常が顕在化する中で、いま、私たちができる事は何か、と常に問われています。 東フロコーポレーションの環境機器は、そのような問いを明確に受け止めるところから開発が進められました。 半導体産業の21世紀に対する期待は大きく、その先端技術の輝ける予兆は、半導体製造の微細化プロセスと大口径化、加えて高速化が一段と進展するものと見る事が可能ですが、より一層エコロジカルな方向に向かう事もまた不可避的です。
東フロコーポレーションは、技術開発型企業としてその時代々の要請に見合うように独自の技術を先鋭化し、21世紀に向けてより一層の革新的創造の役割を担うことができるように、努力を重ねて参ります。