外部の流量計から現在流量情報を受取り、設定した流量に自動制御を行います。半導体洗浄装置の薬液・純水流量管理に最適です。 FCV-C 接液部オールフッ素樹脂。ステッピングモータ採用で高分解能な流量制御が可能 高耐食・クリーン仕様。半導体製造装置などの薬液制御に最適 カタログPDF 薬液・純水用 ラインナップ フローコントローラ フローコントロールバルブ 超音波流量計 カルマン渦式流量計 羽根車式流量計 面積式流量計