薬液・純水用ラインナップ
外部の流量計から現在流量情報を受取り、設定した流量に自動制御を行います。
半導体洗浄装置の薬液・純水流量管理に最適です。
FCV-C
接液部オールフッ素樹脂。ステッピングモータ採用で高分解能な流量制御が可能
製品情報
薬液・純水用 ラインナップ
選定・基礎知識
計算・換算ツール
