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製品情報 

薬液・純水用|フローコントロールバルブ

外部の流量計から現在流量情報を受取り、設定した流量に自動制御を行います。半導体洗浄装置の薬液・純水流量管理に最適です。

FCV-C
FCV-C 接液部オールフッ素樹脂。ステッピングモータ採用で高分解能な流量制御が可能 高耐食・クリーン仕様。半導体製造装置などの薬液制御に最適 カタログPDF