半導体洗浄工程で使用される超純水、高純度薬品の流量計測に使用されています。本体は強酸、強アルカリにも耐性あるPFA樹脂を採用しています。 USF500S DSP機能搭載で気泡の影響を低減。高温(200℃)流体にも対応 カタログPDF USF600S 検出器の小型化を実現。脱着式ケーブル採用で配線・保守が容易 カタログPDF USF500N / 600N / 560N 2チャンネル同時計測。省スペース化とシステムコスト低減に貢献 カタログPDF USF500S DSP機能搭載で気泡の影響を低減。高温(200℃)流体にも対応 測定範囲：0～3 L/min ～ 0～80 L/min カタログPDF USF600S 検出器の小型化を実現。脱着式ケーブル採用で配線・保守が容易 測定範囲：0～3 L/min ～ 0～6 L/min カタログPDF USF500N / 600N / 560N 2チャンネル同時計測。省スペース化とシステムコスト低減に貢献 測定範囲：0～3 L/min ～ 0～80 L/min (各CH) カタログPDF 薬液・純水用 ラインナップ フローコントローラ フローコントロールバルブ 超音波流量計 カルマン渦式流量計 羽根車式流量計 面積式流量計
