薬液・純水用ラインナップ
半導体洗浄工程で使用される超純水、高純度薬品の流量計測に使用されています。
本体は強酸、強アルカリにも耐性あるPFA樹脂を採用しています。
USF500S
DSP機能搭載で気泡の影響を低減。高温(200℃)流体にも対応
USF600S
検出器の小型化を実現。脱着式ケーブル採用で配線・保守が容易
USF500N / 600N / 560N
2チャンネル同時計測。省スペース化とシステムコスト低減に貢献
薬液・純水用 ラインナップ
選定・基礎知識
計算・換算ツール