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フローコントローラ

液体用ラインナップ

ステッピングモーター採用の流量コントローラ。圧力変動しても流量を安定させたい、複数のレシピに合わせ自動で流量変更したい等のニーズに最適です。
 

FLC600
FLC600 小型・軽量。PID制御採用の冷却水用フローコントローラ
MH-FLC600
MH-FLC600 集合配管の流量制御を自動化。最大6連まで対応
FLC700
FLC700 中流量に対応。高応答性・高安定性を実現
FLC-E
FLC-E 電磁流量センサ内蔵。可動部がなくゴミ詰まりに強い
FLC-H100
FLC-H100 (IDS専用) 集積型分配システム(IDS)専用。金型冷却の品質を向上

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