気体用流量計|仕様一覧|東フロコーポレーション

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気体用流量計

気体用流量計 仕様一覧

インデックス


面積式フローメータ  

型 式
流量範囲 (1atm,20℃換算)
材 質
ニードル
バルブ
警報
接点
連続
信号
1
FM-PZ 1~400NL/min
ガラス/SUS
 
2
FM-PX20 40NmL/min~20NL/min
ガラス/BSBM
   
3
FM-PX25 10NmL/min~100NL/min
ガラス/SUS
 
4
DUO-PX 40NmL/min~90NL/min
ガラス/BSBM/SUS
 
5
FM-PG 30NmL/min~300NL/min
ガラス/BSBM
   
6
FM-PR 4~3000NL/min
ガラス/SUS
 
7
FM-KF 150L/h〜400m3L/h(ntp)
ガラス/SUS,PVC
     

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面積式フローチェッカー  

型 式
流量範囲 (1atm,20℃換算)
材 質
ニードル
バルブ
警報
接点
連続
信号
1
FC-C18 0.4~10NL/min
PMMA/SUS
 
2 FC-C21 4〜50NL/min PMMA/SUS    
3
FC-CX24 5~100NL/min
PMMA/SUS
 
4
FC-CX26 10~200NL/min
PMMA/SUS,BSBM
 
5
FC-CX30 5~300NL/min
PMMA/SUS,BSBM
   
6
FC-S 30NmL/min~2000NL/min
ガラス/BSBM,SUS
     
7
FC-SX 1~2000NL/min
ガラス/BSBM,SUS
   

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サイトフロー  

型 式
流量範囲 (1atm,20℃換算)
材 質
ニードル
バルブ
警報
接点
連続
信号
1
S-CH21 4~50NL/min
PMMA/SUS 他
   

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バイパス式流量計  

型 式
流量範囲 (1atm,20℃換算)
材 質
ニードル
バルブ
警報
接点
連続
信号
1
BY-OM 40NL/min~5Nm3/min
ガラス/BSBM,SUS