気体用流量計｜仕様一覧｜東フロコーポレーション

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気体用流量計

気体用流量計仕様一覧

インデックス

マスフローコントローラ

型　式		流量範囲 (1atm,20℃換算)	材　質	ニードルバルブ	警報接点	連続信号
1	THM50C	～50SLM	SUS			○

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熱線式流量計

型　式		流量範囲 (1atm,20℃換算)	材　質	ニードルバルブ	警報接点	連続信号
1	THM50M/MP	～50SLM	SUS			○
2	THS	0～20SL/min	POM/SCS14	○		○

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面積式フローメータ

型　式		流量範囲 (1atm,20℃換算)	材　質	ニードルバルブ	警報接点	連続信号
1	FM-PZ	1～400NL/min	ガラス/SUS	○	○
2	FM-PX20	40NmL/min～20NL/min	ガラス/BSBM	○
3	FM-PX25	10NmL/min～100NL/min	ガラス/SUS	○	○
4	DUO-PX	40NmL/min～90NL/min	ガラス/BSBM/SUS	○		○
5	FM-PG	30NmL/min～300NL/min	ガラス/BSBM	○
6	FM-PR	4～3000NL/min	ガラス/SUS	○	○
7	FM-KF	150L/h〜400m³L/h(ntp)	ガラス/SUS,PVC

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面積式フローチェッカー

型　式		流量範囲 (1atm,20℃換算)	材　質	ニードルバルブ	警報接点	連続信号
1	FC-C18	0.4～10NL/min	PMMA/SUS	○	○
2	FC-C21	4〜50NL/min	PMMA/SUS		○
3	FC-CX24	5～100NL/min	PMMA/SUS	○	○
4	FC-CX26	10～200NL/min	PMMA/SUS,BSBM	○	○
5	FC-CX30	5～300NL/min	PMMA/SUS,BSBM	○
6	FC-S	30NmL/min～2000NL/min	ガラス/BSBM,SUS
7	FC-SX	1～2000NL/min	ガラス/BSBM,SUS		○

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サイトフロー

型　式		流量範囲 (1atm,20℃換算)	材　質	ニードルバルブ	警報接点	連続信号
1	S-CH21	4～50NL/min	PMMA/SUS 他	○

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バイパス式流量計

型　式		流量範囲 (1atm,20℃換算)	材　質	ニードルバルブ	警報接点	連続信号
1	BY-OM	40NL/min～5Nm³/min	ガラス/BSBM,SUS

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