薬液・純水用流量計|東フロコーポレーション

Products information

トップ > 製品情報 > 薬液・純水用流量計

製品情報

製品情報のトップへ

薬液・純水用流量計

薬液・純水用流量計 ラインナップ

FLC4000.psd
フローコントローラ
Flowcontroller
微少域での流量制御を目的に開発されたフローコントローラーです。流量調節、瞬間流量表示、外部出力など多彩な機能を搭載しています。

fcv-c_1.jpg
フローコントロールバルブ
Flow Control Valve
高分解能、高速応答、広い制御範囲。外部の流量計から現在流量情報を受け取り、設定した流量に自動制御を行います。

usf500ss2.jpg
超音波流量計
Ultrasonic Flowmeter
半導体洗浄工程で使用される超純水、高純度薬品の流量計測に使用されています。本体は強酸、強アルカリにも耐性あるPFA樹脂を採用しています。

SSF.psd
カルマン渦式流量計
Karman
障害物の後方に生じるカルマン渦の発生周期が、流量によって変わることを利用した流量計です。シンプル構造で耐久性が高く低価格。

FF-P.psd
羽根車式流量計
Fin type
PFAの羽根の回転で流量を計測します。シンプルな計測原理でリーズナブル。出荷実績No.1のモデルです。

DUO-PF200.psd
面積式流量計
Flowmeter
オールPFAの面積式流量計です。強酸、強アルカリに対応し、流れが目視できます。