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超音波流量計

薬液・純水用ラインナップ

半導体洗浄工程で使用される超純水、高純度薬品の流量計測に使用されています。
本体は強酸、強アルカリにも耐性あるPFA樹脂を採用しています。

USF500S
USF500S DSP機能搭載で気泡の影響を低減。高温(200℃)流体にも対応
USF600S
USF600S 検出器の小型化を実現。脱着式ケーブル採用で配線・保守が容易
USF500N/600N/560N
USF500N / 600N / 560N 2チャンネル同時計測。省スペース化とシステムコスト低減に貢献

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